電容式壓力傳感器(capacitive type pressure transducer)，是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。特點是，輸入能量低，高動態(tài)響應(yīng)，自然效應(yīng)小，環(huán)境適應(yīng)性好。

它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。

特點是：靈敏度高，頻率響應(yīng)高;測量范圍寬，可測低至10Pa的微壓到高至60Mpa的高壓;精度高，工作可靠，其精度可達(dá)±0.2%～0.02%;易于微小型化，目前國內(nèi)生產(chǎn)出直徑φ1.8～2mm的壓阻式壓力傳感器。目前，應(yīng)用**為***的壓力傳感器是壓阻式壓力傳感。

壓力傳感器是把壓力的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化來進(jìn)行測量的，應(yīng)變片是由金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體制成的電阻體，其阻值隨壓力所產(chǎn)生的應(yīng)變而變化。

常用的壓電材料有天然的壓電晶體(如石英晶體)和壓電陶瓷(如鈦酸鋇)兩大類，它們的壓電機理并不相同，壓電陶瓷是人造多晶體，壓電常數(shù)比石英晶體高，但機械性能和穩(wěn)定性不如石英晶體好。它們都具有較好特性，均是較理想的壓電材料。

采用變電容測量原理，將由被測壓力引起的彈性元件的位移變形轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙莸淖兓脺y量電容的方法測出電容量，便可知道被測壓力的大小。

壓磁式壓力傳感器的原理，某些鐵磁材料受到外力作用時，引起導(dǎo)磁率變化現(xiàn)象，稱作壓磁效應(yīng)。其逆效應(yīng)稱作磁致伸縮效應(yīng)。

電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點:

(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極板間靜電引力極小(約幾個10-5N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常高，能感受0.001μm甚至更小的位移。

(2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，對穩(wěn)定性影響甚微。

(3)結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，也能對帶有磁性的工件進(jìn)行測量。

以上關(guān)于電容式壓力傳感器應(yīng)用特點介紹了幾種，分了幾種不同的類型來講，以及一些傳感器的優(yōu)點，希望能給大家?guī)硪欢ǖ膸椭?/p>